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干式螺桿真空泵是一種先進的真空獲得設(shè)備，通過兩個相互嚙合但不接觸的螺桿轉(zhuǎn)子在泵腔內(nèi)同步反向
旋轉(zhuǎn)來產(chǎn)生真空。與傳統(tǒng)油封式真空泵不同，干式螺桿真空泵無需工作液，能夠提供潔凈無污染的真空
環(huán)境，因此在半導(dǎo)體、光伏、化工和制藥等對潔凈度要求極高的領(lǐng)域得到了廣泛應(yīng)用。
一、基本工作原理
干式螺桿真空泵是一種先進的真空獲得設(shè)備，通過兩個相互嚙合但不接觸的螺桿轉(zhuǎn)子在泵腔內(nèi)同步反向
旋轉(zhuǎn)來產(chǎn)生真空。與傳統(tǒng)油封式真空泵不同，干式螺桿真空泵無需工作液，能夠提供潔凈無污染的真空
環(huán)境，因此在半導(dǎo)體、光伏、化工和制藥等對潔凈度要求極高的領(lǐng)域得到了廣泛應(yīng)用。
二、主要技術(shù)特點
1、完全干式運行：無需任何工作液，避免了油蒸氣污染，適合潔凈環(huán)境
2、抽速范圍寬：單級可實現(xiàn)10?至10?² Pa的寬范圍真空
3、耐腐蝕設(shè)計：可采用特殊涂層和材料處理，適應(yīng)腐蝕性氣體環(huán)境
4、易于維護：結(jié)構(gòu)相對簡單，維護周期長，運行成本低
5、低振動低噪音：動態(tài)平衡良好的轉(zhuǎn)子設(shè)計確保運行平穩(wěn)
三、與傳統(tǒng)真空泵的對比優(yōu)勢
對比維度
干式螺桿真空泵
油封式旋片泵
羅茨真空泵
潔凈度
極高，無油污染
有油蒸氣污染風(fēng)險
較高，但可能有微量潤滑劑
維護需求
低
高（需定期換油
中等
耐腐蝕性
可通過材料升級增強
較差
中等
極限真空
中高真空(10?² Pa)
中真空(10?¹ Pa)
需與前級泵組合使用
能耗效率
較高
較低
高
浙江省的真空泵設(shè)備廠家——杭州新安江工業(yè)泵有限公司，主營干式螺桿真空泵、水噴射真空泵、水環(huán)
式真空泵、液環(huán)真空泵、無油真空泵、羅茨真空泵、鋼襯四氟真空機組、不銹鋼真空機組、鋼襯塑PE/
鋼襯塑PO儲罐、鋼襯四氟儲罐、不銹鋼儲罐、PPH/HDPE儲罐、廢氣處理成套設(shè)備、酸霧凈化塔、防腐儲
槽、真空罐、計量罐、化工離心泵、料漿泵、磁力泵、自吸泵、管道泵等。
我企業(yè)是一家集科研、設(shè)計、生產(chǎn)、銷售和系統(tǒng)集成為一體的高新技術(shù)企業(yè)，近七年連續(xù)列入建德市重
點工業(yè)企業(yè)， 2012年被評為國家高新技術(shù)企業(yè)。公司努力加快技術(shù)創(chuàng)新和新產(chǎn)品開發(fā)的步伐，現(xiàn)擁有杭
州新安江防腐工業(yè)泵省高新技術(shù)企業(yè)研發(fā)中心，擁有羅茨真空泵冷卻系統(tǒng)等45項國家專利技術(shù)（其中發(fā)
明專利4項）。
